對集成電路的制程來說，粒徑為線寬尺寸一半的灰塵能導(dǎo)致產(chǎn)品致命的缺陷。因此，大于等于這個粒徑的灰塵被稱為“致命塵埃”，其大允許濃度見左表中所列。當今前沿的技術(shù)已經(jīng)要求致命塵埃的平均濃度小于1個/m3。
目前，基于0.25um~0.18um技術(shù)的集成電路制造在全球范圍內(nèi)普及。現(xiàn)有的空氣過濾產(chǎn)品和技術(shù)能對130nm以上的制造技術(shù)提供完美的解決方案。對于90nm以下的制程，微電子和空氣過濾兩大業(yè)界的專家正積極研發(fā)相關(guān)技術(shù)，使之更成熟乃至標準化、商品化。
潔凈室中，除了我們早已知曉的塵埃污染物外，分子級的氣態(tài)污染物隨著制程敏感度的迅速升高而在短短幾年內(nèi)一躍成為污染控制關(guān)注的焦點。
在微電子制造業(yè)，空氣中攜帶的能夠危害生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品并導(dǎo)致良率降低或相關(guān)損失的化學(xué)物質(zhì)被稱為“分子級污染物”（AMC）。
AMC的來源
AMC的來源十分“豐富”和廣泛。已知的來源舉例：
微電子制程所用到的上百種揮發(fā)性/氣體化學(xué)品；
室內(nèi)人員身體釋放的化學(xué)物質(zhì)，如氨氣；
潔凈室建筑材料（包括黏結(jié)劑、防火涂層、面漆等）和機臺及其附屬結(jié)構(gòu)散逸的氣體，如過濾器、頂棚、地板、用具、生產(chǎn)設(shè)備等所用材料揮發(fā)的化學(xué)物質(zhì)；
由MAU引入的新風，即室外污染，如二氧化硫、氮氧化物、臭氧、氨、有機氣體、金屬離子等。主要受周圍環(huán)境汽車尾氣、工農(nóng)業(yè)、發(fā)電和取暖等設(shè)備所影響。
微電子制程所用到的上百種揮發(fā)性/氣體化學(xué)品；